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EnglishOverview of early publications on Atomic Layer Deposition / J. Aarik; A. R. Akbashev; M. Bechelany; J. S. Becker; M. Berdova; D. Cameron; C. Dubourdieu; J. Elam; S. Elliott; G. Gottardi; K. Grigoras; Y. Koshtyal; M.-L. Kääriäinen; T. Kääriäinen; L. Lamagna; A. Malkov; A. Malygin; J. Molarius; J. Nikkola; H. Pedersen; R. L. Puurunen; A. Pyymäki Perros; R. H. A. Ras; F. Roozeboom; T. Sajavaara; H. Savin; T. E. Seidel; P. Sundberg; J. Sundqvist; J. R. van Ommen; O. M. E. Ylivaara. - (2014). ((Intervento presentato al convegno 12th International Baltic Conference on Atomic Layer Deposition tenutosi a Helsinki, Finland nel May 12-13, 2014.
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| Titolo: | Overview of early publications on Atomic Layer Deposition |
| Autori: | |
| Data di pubblicazione: | 2014 |
| Handle: | http://hdl.handle.net/11582/233020 |
| Appare nelle tipologie: | 4.3 Poster |
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http://hdl.handle.net/11582/233020
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