Overview of early publications on Atomic Layer Deposition

J. Aarik;A. R. Akbashev;M. Bechelany;J. S. Becker;M. Berdova;D. Cameron;C. Dubourdieu;J. Elam;S. Elliott;Gottardi, Gloria;K. Grigoras;Y. Koshtyal;M. L. Kääriäinen;T. Kääriäinen;L. Lamagna;A. Malkov;A. Malygin;J. Molarius;J. Nikkola;H. Pedersen;R. L. Puurunen;A. Pyymäki Perros;R. H. A. Ras;F. Roozeboom;T. Sajavaara;H. Savin;T. E. Seidel;P. Sundberg;J. Sundqvist;J. R. van Ommen;O. M. E. Ylivaara

2014