Overview of early publications on Atomic Layer Deposition

Aarik, J.; Akbashev, A. R.; Bechelany, M.; Becker, J. S.; Berdova, M.; Cameron, D.; Dubourdieu, C.; Elam, J.; Elliott, S.; Gottardi, Gloria; Grigoras, K.; Koshtyal, Y.; Kääriäinen, M. L.; Kääriäinen, T.; Lamagna, L.; Malkov, A.; Malygin, A.; Molarius, J.; Nikkola, J.; Pedersen, H.; Puurunen, R. L.; Pyymäki Perros, A.; Ras, R. H. A.; Roozeboom, F.; Sajavaara, T.; Savin, H.; Seidel, T. E.; Sundberg, P.; Sundqvist, J.; van Ommen, J. R.; Ylivaara, O. M. E.

Overview of early publications on Atomic Layer Deposition / J. Aarik; A. R. Akbashev; M. Bechelany; J. S. Becker; M. Berdova; D. Cameron; C. Dubourdieu; J. Elam; S. Elliott; G. Gottardi; K. Grigoras; Y. Koshtyal; M.-L. Kääriäinen; T. Kääriäinen; L. Lamagna; A. Malkov; A. Malygin; J. Molarius; J. Nikkola; H. Pedersen; R. L. Puurunen; A. Pyymäki Perros; R. H. A. Ras; F. Roozeboom; T. Sajavaara; H. Savin; T. E. Seidel; P. Sundberg; J. Sundqvist; J. R. van Ommen; O. M. E. Ylivaara. - (2014). ((Intervento presentato al convegno 12th International Baltic Conference on Atomic Layer Deposition tenutosi a Helsinki, Finland nel May 12-13, 2014.

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Titolo:	Overview of early publications on Atomic Layer Deposition
Autori:	J. Aarik A. R. Akbashev M. Bechelany J. S. Becker M. Berdova D. Cameron C. Dubourdieu J. Elam S. Elliott Gottardi, Gloria K. Grigoras Y. Koshtyal M. L. Kääriäinen T. Kääriäinen L. Lamagna A. Malkov A. Malygin J. Molarius J. Nikkola H. Pedersen R. L. Puurunen A. Pyymäki Perros R. H. A. Ras F. Roozeboom T. Sajavaara H. Savin T. E. Seidel P. Sundberg J. Sundqvist J. R. van Ommen O. M. E. Ylivaara mostra contributor esterni nascondi contributor esterni
Data di pubblicazione:	2014
Handle:	http://hdl.handle.net/11582/233020
Appare nelle tipologie:	4.3 Poster

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