Verifizierung eines nichtlinearen Modells für einen gedämpften ohmschen HF-Schalter bei unterschiedlichen Druckbedingungen
Iannacci, Jacopo
2009-01-01
Abstract
Kurzfassung In diesem Beitrag wird ein physikalisch basiertes und elektromechanisch-fluidisch gekoppeltes Makromodell für einen mikromechanischen Hochfrequenzschalter abgeleitet und validiert. Mit Hilfe des prädiktiven Makromodells lässt sich sowohl die viskose Dämpfung, die sich bei Auslenkung des Schalters nichtlinear verändert, als auch die Verschiebung der Resonanzfrequenz des Systems aufgrund der elektrostatischen Kräfte korrekt beschreiben. Das Modell liefert daher eine sehr gute Übereinstimmung mit Messungen im Druckbereich von 200hPa bis 960hPa, die mittels eines Weißlichtin-terferometers in Kombination mit einer Vakuumkammer durchgeführt wurden. Abstract We present a physically-based and multi-energy domain coupled reduced-order model that allows for the predictive simulation of the dynamic response of RF-MEMS switches. The coupling effects occurring during dynamic operation, namely increased damping due to the decreasing gap height and electrostatic spring softening are correctly implemented in the model and, therefore, accurately reproduced. The model is able to account for varying ambient pressure conditions and shows good agreement with measurements at pressure levels from 200hPa to 960hPa.File in questo prodotto:
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