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EnglishTof-SIMS Analyses on Contamination induced by Plasma Etching of Silicon Oxide / F. Zanderigo; G. Queirolo; Lia Emanuela Vanzetti; Sara Ferrari; A. Losavio. - (1999). ((Intervento presentato al convegno SIMS XII: Proceedings of the 12th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry ‘Secondary Ion Mass Spectrometry SIMS XII’ tenutosi a Brussells nel 05/09/1999 - 10/09/1999.
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| Titolo: | Tof-SIMS Analyses on Contamination induced by Plasma Etching of Silicon Oxide |
| Autori: | |
| Data di pubblicazione: | 1999 |
| Handle: | http://hdl.handle.net/11582/1948 |
| ISBN: | 9780444503237 |
| Appare nelle tipologie: | 4.1 Contributo in Atti di convegno |
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http://hdl.handle.net/11582/1948
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