Furnace and RTP Nitridation of Ultrathin Oxide Films by NO and N2O: SIMS and ToF-SIMS Characterisation / Massimo Bersani; M. Sbetti; Lia Emanuela Vanzetti; Mariano Anderle. - (2000), pp. 509-512.
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Titolo: | Furnace and RTP Nitridation of Ultrathin Oxide Films by NO and N2O: SIMS and ToF-SIMS Characterisation |
Autori: | |
Data di pubblicazione: | 2000 |
Handle: | http://hdl.handle.net/11582/1946 |
Appare nelle tipologie: | 4.1 Contributo in Atti di convegno |
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