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EnglishPlatinum metallization for MEMS applications / V. Guarnieri; L. Biazi ; C. Collini; L. Lorenzelli. - (2008). ((Intervento presentato al convegno International conference on organometallic and coordination chemistry tenutosi a Nizhny Novgorod, Russia, Europe nel da 09/02/2008 a 09/09/2008.
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| Titolo: | Platinum metallization for MEMS applications |
| Autori: | |
| Data di pubblicazione: | 2008 |
| Handle: | http://hdl.handle.net/11582/17973 |
| Appare nelle tipologie: | 4.3 Poster |
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http://hdl.handle.net/11582/17973
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