Questa relazione rappresenta l’atto conclusivo del contratto di ricerca tra SGS-Thomson e CMBM/ITC per l’anno 1997/98. Il contratto ha previsto l’applicazione di tecniche analitiche di spettrometria di massa e spettroscopia elettronica al fine di studiare e sviluppare nuove tecnologie e processi per la microelettronica ULSI nell’ambito del progetto europeo EUREKA EU127/Jessi T1E
Technical report ITC-irst/SGS-Thomsn
Bersani, Massimo
1998-01-01
Abstract
Questa relazione rappresenta l’atto conclusivo del contratto di ricerca tra SGS-Thomson e CMBM/ITC per l’anno 1997/98. Il contratto ha previsto l’applicazione di tecniche analitiche di spettrometria di massa e spettroscopia elettronica al fine di studiare e sviluppare nuove tecnologie e processi per la microelettronica ULSI nell’ambito del progetto europeo EUREKA EU127/Jessi T1EFile in questo prodotto:
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