L’obiettivo del presente lavoro è stato la caratterizzazione di ossidi sottili nitrurati tramite tecniche di microanalisi differenti e complementari. Lo sviluppo della tematica si è svolto attraverso tre linee guida la cui identificazione permette di esporre al meglio il lavoro svolto e definire in modo completo i risultati raggiunti: - Sviluppo di una metodologia necessaria a caratterizzare in modo completo ed accurato questa tipologia di campioni. - Caratterizzazione chimico-fisica di ossidonitruri al fine di definirne le proprietà fondamentali quali distribuzione dell’azoto, auqntificazione del contenuto di azoto, legami chimici. - Applicazione della metodologia sviluppata a campioni di produzione e impiego dei risultati ottenuti per monitorare ed aiutare a risolvere le problematiche di processo

Caratterizzazione SIMS ToF-SIMS e XPS di Ossidonitruri

Vanzetti, Lia Emanuela;Bersani, Massimo;Anderle, Mariano
1998

Abstract

L’obiettivo del presente lavoro è stato la caratterizzazione di ossidi sottili nitrurati tramite tecniche di microanalisi differenti e complementari. Lo sviluppo della tematica si è svolto attraverso tre linee guida la cui identificazione permette di esporre al meglio il lavoro svolto e definire in modo completo i risultati raggiunti: - Sviluppo di una metodologia necessaria a caratterizzare in modo completo ed accurato questa tipologia di campioni. - Caratterizzazione chimico-fisica di ossidonitruri al fine di definirne le proprietà fondamentali quali distribuzione dell’azoto, auqntificazione del contenuto di azoto, legami chimici. - Applicazione della metodologia sviluppata a campioni di produzione e impiego dei risultati ottenuti per monitorare ed aiutare a risolvere le problematiche di processo
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