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By using a test structure especially designed for SEM cross sectioning analysis, it has been observed that the growing of Field Oxide in submicron opening is also affected by compressive mechanical stresses induced by the thermal oxide growth under the oxidation mask, i.e. at the bird’s break region. Experimental data show a new effect, i.e. a field oxide thicking phenomenon which developes at 0.7:-1.5 micron opening width. The thicking effect competes with the well known thinning effect and causes a shift on the appearance of the Field Oxide Thinning to narrower mask openings.
By using a test structure especially designed for SEM cross sectioning analysis, it has been observed that the growing of Field Oxide in submicron opening is also affected by compressive mechanical stresses induced by the thermal oxide growth under the oxidation mask, i.e. at the bird’s break region. Experimental data show a new effect, i.e. a field oxide thicking phenomenon which developes at 0.7:-1.5 micron opening width. The thicking effect competes with the well known thinning effect and causes a shift on the appearance of the Field Oxide Thinning to narrower mask openings.
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: http://hdl.handle.net/11582/1159
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simulazione ASN
Il report seguente simula gli indicatori relativi alla propria produzione scientifica in relazione alle soglie ASN 2021-2023 del proprio SC/SSD. Si ricorda che il superamento dei valori soglia (almeno 2 su 3) è requisito necessario ma non sufficiente al conseguimento dell'abilitazione. La simulazione si basa sui dati IRIS e sugli indicatori bibliometrici alla data indicata e non tiene conto di eventuali periodi di congedo obbligatorio, che in sede di domanda ASN danno diritto a incrementi percentuali dei valori. La simulazione può differire dall'esito di un’eventuale domanda ASN sia per errori di catalogazione e/o dati mancanti in IRIS, sia per la variabilità dei dati bibliometrici nel tempo. Si consideri che Anvur calcola i valori degli indicatori all'ultima data utile per la presentazione delle domande.
La presente simulazione è stata realizzata sulla base delle specifiche raccolte sul tavolo ER del Focus Group IRIS coordinato dall’Università di Modena e Reggio Emilia e delle regole riportate nel DM 589/2018 e allegata Tabella A. Cineca, l’Università di Modena e Reggio Emilia e il Focus Group IRIS non si assumono alcuna responsabilità in merito all’uso che il diretto interessato o terzi faranno della simulazione. Si specifica inoltre che la simulazione contiene calcoli effettuati con dati e algoritmi di pubblico dominio e deve quindi essere considerata come un mero ausilio al calcolo svolgibile manualmente o con strumenti equivalenti.
