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Titolo Data di pubblicazione Autore(i) File
<100> bar corner compensation for CMOS compatible anisotropic TMAH etching 1-gen-2006 R., Mukhiya; Bagolini, Alvise; Margesin, Benno; Zen, Mario; S., Kal
A bolometric measurement of the antineutrino mass 1-gen-2003 C., Arnaboldi; C., Brofferio; O., Cremonesi; E., Fiorini; C., Lo Bianco; A., Nucciotti; M., Pavan; G., Pessina; S., Pirro; E., Previtali; M., Sisti; L., Martensson; A., Giuliani; Margesin, Benno; Zen, Mario
A CAD System for Developing Chemical Sensor-Based Microsystems with an ISFET-CMOS Compatible Technology 1-gen-1999 S., Martinoia; Lorenzelli, Leandro; G., Massobrio; Margesin, Benno; Lui, Alberto
A Flexible Fabrication Process for RF MEMS Devices 1-gen-2011 Giacomozzi, Flavio; Mulloni, Viviana; Colpo, Sabrina; Iannacci, Jacopo; Margesin, Benno; Faes, Alessandro
A Low Cost Micro-System for Non-Invasive Uroflowmetry 1-gen-2006 N., Viarani; Massari, Nicola; Gottardi, Massimo; Simoni, Andrea; Margesin, Benno; Faes, Alessandro; Decarli, Massimiliano; Guarnieri, Vittorio
A micromachined gold palladium Kelvin probe for hydrogen sensing 1-gen-2009 D'Amico, ; C., Di Natale; E., Martinelli; Tibuzzi, Arianna; Margesin, Benno; Giacomozzi, Flavio; Soncini, Giovanni; C., Calaza; Ficorella, Francesco; S., Iarossi
A simple analytical method for residual stress measurement on suspended MEM structures using surface profilometry 1-gen-2013 Mulloni, Viviana; Colpo, Sabrina; Faes, Alessandro; Margesin, Benno
A single metal layer MEMS self-assembling coplanar structure 1-gen-2007 Bagolini, Alvise; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Bellutti, Pierluigi
An accelerated thermal cycling test for RF-MEMS switches 1-gen-2016 Mulloni, Viviana; Sordo, Guido; Margesin, Benno
An atomic force microscope estimation of the point of zero charge of silicon insulator 1-gen-1998 R., Raiteri; Margesin, Benno; M., Grattarola
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Tipologia
  • 1 Contributo su Rivista 112
  • 1 Contributo su Rivista::1.1 Arti... 112
Autore
  • Giacomozzi, Flavio 37
  • Zen, Mario 25
  • Mulloni, Viviana 23
  • Falferi, Paolo 15
  • Faes, Alessandro 13
  • Vinante, Andrea 11
  • Colpo, Sabrina 10
  • Mantegazzini, Federica 10
  • Soncini, Giovanni 10
  • Cian, Alessandro 9
Data di pubblicazione
  • 2020 - 2024 15
  • 2010 - 2019 44
  • 2000 - 2009 39
  • 1990 - 1999 13
  • 1987 - 1989 1
Editore
  • Elsevier 15
  • Romanian Academy 3
  • Associazione Elettrotecnica ed El... 2
  • American Institute of Physics 1
  • AVS 1
  • IEEE 1
  • IOP Publishing 1
  • Materials Research Society 1
  • MYU K.K. 1
  • North-Holland 1
Rivista
  • MICROSYSTEM TECHNOLOGIES 10
  • IEEE TRANSACTIONS ON APPLIED SUPE... 7
  • SENSORS AND ACTUATORS. B, CHEMICAL 7
  • JOURNAL OF LOW TEMPERATURE PHYSICS 6
  • NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN ... 6
  • ROMANIAN JOURNAL OF INFORMATION S... 6
  • INTERNATIONAL JOURNAL OF MICROWAV... 4
  • JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MIC... 4
  • SENSORS AND ACTUATORS. A, PHYSICAL 4
  • BIOSENSORS & BIOELECTRONICS 3
Keyword
  • RF MEMS 6
  • Capacitive switch 4
  • MEMS 4
  • Physics - Instrumentation and Det... 3
  • RF-switch 3
  • Electrodeposited gold 2
  • Electrostatic interaction 2
  • gold 2
  • hydrogen 2
  • micromachining 2
Lingua
  • eng 106
  • ita 1
Accesso al fulltext
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