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Surface investigation of archeological glasses by secondary ion mass spectrometry
2005-01-01 S., Pederzoli; Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Lazzeri, Paolo; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; G., Giunta; E., di Paola
Ultra low energy Boron implants in silicon characterization by not-oxidizing secondary ion mass spectrometry analysis and soft-ray grazing incidence x-ray fluorescence techniques.
2009-01-01 Giubertoni, Damiano; Pepponi, Giancarlo; P., Hoenicke; B., Beckhoff; Iacob, Erica; Gennaro, Salvatore; Bersani, Massimo
Ultra low energy Boron ion implants in silicon analyzed by not-oxydizing O2+ bombardment and synchrotron radiation grazing incidence x-ray fluorescence
2009-01-01 Giubertoni, Damiano; Iacob, Erica; Pepponi, Giancarlo; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; P., Hoenicke; B., Beckhoff
Ultra shallow Boron junctions in silicon characterization by secondary ion mass spectrometry and synchrotron radiation grazing incidence x-ray fluorescence techniques
2009-01-01 Giubertoni, Damiano; P., Hoenicke; B., Beckhoff; Pepponi, Giancarlo; Iacob, Erica; Bersani, Massimo
Ultra shallow junction analysis for technology nodes beyond 65nm
2005-01-01 Giubertoni, Damiano; Iacob, Erica; Barozzi, Mario; S., Pederzoli; Vanzetti, Lia Emanuela; Anderle, Mariano; Bersani, Massimo
Ultra shallow junctions: Analytical solutions for 90 nm technology node"
2003-01-01 Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Bersani, Massimo; P., Lazzeri; M., Anderle
Ultra thin oxynitride profiles by XPS etch-back analyses
2004-01-01 Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; P., Bacciaglia; B., Crivelli; M. L., Polignano; M. E., Vitali
Ultra-Shallow Junction Depth Profiling
2008-01-01 Giubertoni, Damiano
Ultrathin Multilayer Dielectrics Analyses by XPS wet-etching and SIMS profile
2001-01-01 Iacob, Erica; M., Sbetti; Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano; Bersani, Massimo; B., Crivelli; R., Zonca; F., Zanderigo; M. E., Vitali
Visita ispettiva annuale di sorveglianza Accredia
2011-01-01 Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Vanzetti, Lia Emanuela; Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano
| Titolo | Data di pubblicazione | Autore(i) | File |
|---|---|---|---|
| Surface investigation of archeological glasses by secondary ion mass spectrometry | 1-gen-2005 | S., Pederzoli; Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Lazzeri, Paolo; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; G., Giunta; E., di Paola | |
| Ultra low energy Boron implants in silicon characterization by not-oxidizing secondary ion mass spectrometry analysis and soft-ray grazing incidence x-ray fluorescence techniques. | 1-gen-2009 | Giubertoni, Damiano; Pepponi, Giancarlo; P., Hoenicke; B., Beckhoff; Iacob, Erica; Gennaro, Salvatore; Bersani, Massimo | |
| Ultra low energy Boron ion implants in silicon analyzed by not-oxydizing O2+ bombardment and synchrotron radiation grazing incidence x-ray fluorescence | 1-gen-2009 | Giubertoni, Damiano; Iacob, Erica; Pepponi, Giancarlo; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; P., Hoenicke; B., Beckhoff | |
| Ultra shallow Boron junctions in silicon characterization by secondary ion mass spectrometry and synchrotron radiation grazing incidence x-ray fluorescence techniques | 1-gen-2009 | Giubertoni, Damiano; P., Hoenicke; B., Beckhoff; Pepponi, Giancarlo; Iacob, Erica; Bersani, Massimo | |
| Ultra shallow junction analysis for technology nodes beyond 65nm | 1-gen-2005 | Giubertoni, Damiano; Iacob, Erica; Barozzi, Mario; S., Pederzoli; Vanzetti, Lia Emanuela; Anderle, Mariano; Bersani, Massimo | |
| Ultra shallow junctions: Analytical solutions for 90 nm technology node" | 1-gen-2003 | Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Bersani, Massimo; P., Lazzeri; M., Anderle | |
| Ultra thin oxynitride profiles by XPS etch-back analyses | 1-gen-2004 | Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; P., Bacciaglia; B., Crivelli; M. L., Polignano; M. E., Vitali | |
| Ultra-Shallow Junction Depth Profiling | 1-gen-2008 | Giubertoni, Damiano | |
| Ultrathin Multilayer Dielectrics Analyses by XPS wet-etching and SIMS profile | 1-gen-2001 | Iacob, Erica; M., Sbetti; Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano; Bersani, Massimo; B., Crivelli; R., Zonca; F., Zanderigo; M. E., Vitali | |
| Visita ispettiva annuale di sorveglianza Accredia | 1-gen-2011 | Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Vanzetti, Lia Emanuela; Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano |
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Tipologia
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Data di pubblicazione
- 2010 - 2013 5
- 2000 - 2009 26
Keyword
- SIMS 13
- silicon 11
- arsenic 7
- ion implantation 6
- MEIS 5
- boron 4
- EXAFS 4
- ultra shallow junctions 4
- doping 3
- GIXRF 3
Lingua
- eng 27
- ita 3
Accesso al fulltext
- no fulltext 31