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Titolo Data di pubblicazione Autore(i) File
A comparison between mass spectrometry techniques on oxynitrides 1-gen-1998 Bersani, Massimo; M., Sbetti; Anderle, Mariano
An EXAFS investigation of Arsenic shallow implant activation in silicon after laser sub-melt annealing 1-gen-2006 Giubertoni, Damiano; Pepponi, Giancarlo; Bersani, Massimo; Gennaro, Salvatore; F., D'Acapito; R., Doherty; M. A., Foad
Arsenic Shallow Implant Characterization by Magnetic Sector and TOF-SIMS Instruments 1-gen-2002 Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Lazzeri, Paolo; Anderle, Mariano; Bersani, Massimo
As ultra shallow depth profiling: comparison between SIMS and MEIS techniques 1-gen-2004 Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; S., Pederzoli; Anderle, Mariano; Bersani, Massimo; J. A., van den Berg; M., Werner
Caratterizzazione SIMS ToF-SIMS e XPS di Ossidonitruri 1-gen-1998 M., Sbetti; Vanzetti, Lia Emanuela; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano
Characterization of Junction Activation and Deactivation Using non-Equilibrium 1-gen-2009 Bersani, Massimo; Pepponi, Giancarlo; Giubertoni, Damiano; Gennaro, Salvatore; M. A., Sahiner; S. P., Kelty; M., Kah; K. J., Kirkby; R., Doherty; M. A., Foad; Meirer, Florian; C., Streli; J. C., Woicik; P., Piane
Combined XPS, SIMS and AFM analysis of silicon nano-crystals embedded in silicon oxide layers 1-gen-2007 Vanzetti, Lia Emanuela; Barozzi, Mario; Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Pucker, Georg; Bellutti, Pierluigi
Comparison between the SIMS and MEIS techniques for the characterization of ultra shallow arsenic implants" 1-gen-2005 Giubertoni, Damiano; Bersani, Massimo; Barozzi, Mario; S., Pederzoli; Iacob, Erica; J. A., van den Berg; M., Werner
D-Sims and TOF-SIMS quantitative depth profiles on ultra thin oxinitrides 1-gen-2001 Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Iacob, Erica; Vanzetti, Lia Emanuela; Anderle, Mariano; P., Lazzeri; B., Crivelli; F., Zanderigo
Deactivation of sub-melt laser annealed arsenic ultra shallow junctions in silicon during subsequent thermal treatment 1-gen-2009 Giubertoni, Damiano; Pepponi, Giancarlo; M. A., Sahiner; S. P., Kelty; M., Kah; K. J., Kirkby; Meirer, Florian; Gennaro, Salvatore; R., Doherty; M. A., Foad; J. C., Woicik; C., Streli; Bersani, Massimo; P., Pianetta
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Tipologia
  • 5 Altro 36
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Autore
  • Giubertoni, Damiano 27
  • Barozzi, Mario 20
  • Iacob, Erica 20
  • Anderle, Mariano 14
  • Vanzetti, Lia Emanuela 13
  • Pepponi, Giancarlo 11
  • Gennaro, Salvatore 9
  • Lazzeri, Paolo 6
  • Fedrizzi, Michele 3
  • Meirer, Florian 3
Data di pubblicazione
  • 2010 - 2013 4
  • 2000 - 2009 28
  • 1998 - 1999 4
Keyword
  • SIMS 11
  • silicon 9
  • arsenic 6
  • ion implantation 6
  • boron 4
  • MEIS 4
  • ultra shallow junctions 4
  • EXAFS 3
  • characterization 2
  • doping 2
Lingua
  • eng 31
  • ita 4
Accesso al fulltext
  • no fulltext 36