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Titolo Data di pubblicazione Autore(i) File
Chemical and morphological characterization of nanoporous silica low-k dielectrics etched in fluorocarbon plasmas 1-gen-2004 Lazzeri, Paolo; Anderle, Mariano; X., Hua; Iacob, Erica; C. K., Inoki; P., Jiang; T. S., Kuan; G. S., Oehrlein
Combined XPS, SIMS and AFM analysis of silicon nano-crystals embedded in silicon oxide layers 1-gen-2007 Vanzetti, Lia Emanuela; Barozzi, Mario; Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Pucker, Georg; Bellutti, Pierluigi
Comparison between the SIMS and MEIS techniques for the characterization of ultra shallow arsenic implants" 1-gen-2005 Giubertoni, Damiano; Bersani, Massimo; Barozzi, Mario; S., Pederzoli; Iacob, Erica; J. A., van den Berg; M., Werner
D-Sims and TOF-SIMS quantitative depth profiles on ultra thin oxinitrides 1-gen-2001 Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Iacob, Erica; Vanzetti, Lia Emanuela; Anderle, Mariano; P., Lazzeri; B., Crivelli; F., Zanderigo
Depth profiling and quantification of chlorine and nitrogen in oxynitrides obtained by HTO process 1-gen-2000 Bersani, Massimo; M., Sbettti; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Iacob, Erica
Induced roughness during SIMS analysis by low energy Cs+ beam 1-gen-2004 Iacob, Erica; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; S., Pederzoli; Bersani, Massimo
ispettiva di sorveglianza 04-05 Luglio 2013 1-gen-2013 Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Vanzetti, Lia Emanuela; Fedrizzi, Michele; Bortolotti, Mauro
ispettiva di sorveglianza 6-7 giugno 2012. 1-gen-2012 Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Vanzetti, Lia Emanuela; Bortolotti, Mauro; Gennaro, Salvatore; Fedrizzi, Michele
Material characterization and the formation of nanoporous PMSSQ low-k dielectrics 1-gen-2003 Lazzeri, Paolo; Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; J. J., Park; Z. Lin R. M., Briber; G. W., Rubloff; R. D., Miller
Morphology structure and interfaces in the preparation of films by SUMBE for gas sensing 1-gen-2003 Iacob, Erica; Anderle, Mariano; Bersani, Massimo; Coppedè, Nicola; Lazzeri, Paolo; Micheli, Victor; Pallaoro, Alessia; Toccoli, Tullio; Iannotta, Salvatore
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Tipologia
  • 5 Altro 23
  • 5 Altro::5.12 Altro 23
Autore
  • Bersani, Massimo 20
  • Giubertoni, Damiano 17
  • Barozzi, Mario 15
  • Anderle, Mariano 11
  • Vanzetti, Lia Emanuela 11
  • Lazzeri, Paolo 5
  • Pepponi, Giancarlo 3
  • Bortolotti, Mauro 2
  • Coppedè, Nicola 2
  • Fedrizzi, Michele 2
Data di pubblicazione
  • 2010 - 2013 4
  • 2000 - 2009 19
Keyword
  • SIMS 5
  • boron 3
  • ion implantation 3
  • silicon 3
  • ultra shallow junctions 3
  • Arsenic 1
  • asbestos 1
  • ferritic steel 1
  • GIXRF 1
  • ISO/IEC 17025 1
Lingua
  • eng 19
  • ita 3
Accesso al fulltext
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