Micromachined coplanar RF-MEMS switches in series configuration have been realized and tested. A circuital approach based on an analytical approach has beenused to obtain a lumped equivalent circuit to model the ON and OFF states up to 20 GHz

Circuital Modeling of Coplanar Series RF-MEMS Switches

Margesin, Benno;Giacomozzi, Flavio;
2004-01-01

Abstract

Micromachined coplanar RF-MEMS switches in series configuration have been realized and tested. A circuital approach based on an analytical approach has beenused to obtain a lumped equivalent circuit to model the ON and OFF states up to 20 GHz
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