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ToF-SIMS and AFM studies of low-k dielectric etching in fluorocarbon plasmas 1-gen-2005 Lazzeri, Paolo; X., Hua; G., Oehrlein; Iacob, Erica; Barozzi, Mario; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano
Surface investigation of archeological glasses by secondary ion mass spectrometry 1-gen-2005 S., Pederzoli; Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Lazzeri, Paolo; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; G., Giunta; E., di Paola
SURFACE INVESTIGATIONS OF ARCHAEOLOGICAL GLASSES BY SECONDARY ION MASS SPECTROMETRY 1-gen-2005 S., Pederzoli; Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Lazzeri, Paolo; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; G., Giunta; E., Di Paola
Thin Film Transformations and Volatile Products in the Formation of Nanoporous Low-K PMSSQ-based Dielectric 1-gen-2005 Lazzeri, Paolo; Vanzetti, Lia Emanuela; Anderle, Mariano; Bersani, Massimo; J. J., Park; Z., Lin; R. M., Briber; G. W., Rubloff; H. C., Kim; R. D., Miller
Plasma-surface interactions of nanoporous silica during plasma-based pattern transfer using C4F8 and C4F8 /Ar gas mixtures 1-gen-2005 X., Hua; C., Stolz; G. S., Oehrlein; Lazzeri, Paolo; N., Coghe; Anderle, Mariano; C. K., Inoki; T. S., Kuan; P., Jiang
Homogeneity study of traces in pine pollen with SR-μXRF 1-gen-2005 Pepponi, Giancarlo; Lazzeri, Paolo; Barozzi, Mario; Bersani, Massimo; B., Kashani; L., Contardi; N., Zoeger; C., Jokubonis; C., Streli; P., Wobrauscheck; E., Gottardini; F., Corradini; R., Larcher; G., Falkenberg
Damage of ultralow k materials during photoresist mask stripping process 1-gen-2006 X., Hua; M., Kuo; G. S., Oehrlein; Lazzeri, Paolo; Iacob, Erica; Anderle, Mariano; C. K., Inoki; T. S., Kuan; P., Jang; Wen li, Wu
Studies of plasma surface interactions during short time plasma etching of 193 and 248 nm photoresist materials 1-gen-2006 X., Hua; S., Engelmann; G. S., Oehrlein; P., Jang; Lazzeri, Paolo; Iacob, Erica; Anderle, Mariano
Plasma-Surface Interactions of Model Polymers for Advanced Photoresists Using C4F8/Ar Discharges and Energetic Ion Beams 1-gen-2007 S., Engelmann; R. L., Bruce; T., Kwon; R., Phaneuf; G. S., Oehrlein; Y. C., Bae; C., Andes; D., Graves; D., Nest; E. A., Hudson; Lazzeri, Paolo; Iacob, Erica; Anderle, Mariano
On the photoresist stripping and damage of ultralow k dielectric materials using remote H2- and D2-based discharges 1-gen-2007 Lazzeri, Paolo; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; G. J., Stueber; G. S., Oehrlein; E., Bush; R., Mcgowan
Interactions of photoresist stripping plasmas with nanoporous organo-silicate ultra low dielectric constant dielectrics 1-gen-2008 Lazzeri, Paolo; G. S., Oehrlein; G. J., Stueber; R., Mcgowan; E, Busch; Simone, Pederzoli; C., Jeynes; Bersani, Massimo; A., Anderle
Highly Sensitive Detection of Inorganic Contamination 1-gen-2008 Burkhard, Beckhoff; Andreas, Nutsch; Roswitha, Altmann; G., Borionetti; C., Pello; Maria Luisa, Polignano; Davide, Codegoni; Salvo, Grasso; Elena, Cazzini; Bersani, Massimo; Lazzeri, Paolo; Gennaro, Salvatore; Michael, Kolbe; Matthias, Müller; P., Kregsamer; Florian, Posch
UNUSUAL FE-RICH FRAMBOIDS FROM DEVONIAN CARBONATE MOUNDS (SAHARA DESERT, MOROCCO) INVESTIGATED BY HR-SEM AND TOF-SIMS: FOSSIL ANALOGUES OF MOA-SRB CONSORTIA? 1-gen-2009 B., Cavalazzi; R., Barbieri; G. G., Ori; F., Westall; S. L., Cady; Gennaro, Salvatore; Lui, Alberto; Canteri, Roberto; Bersani, Massimo; Lazzeri, Paolo; Pepponi, Giancarlo
UNUSUAL FE-RICH FRAMBOIDS from DEVONIAN CARBONATE MOUNDS (HAMAR LAGHDAD RIDGE, MOROCCO) INVESTIGATED BY HR-SEM and ToF-SIMS: FOSSIL OAM-SRB CONSORTIA ANALOGUES? 1-gen-2009 B., Cavalazzi; R., Barbieri; G. G., Ori; F., Westall; Gennaro, Salvatore; Lui, Alberto; Canteri, Roberto; Bersani, Massimo; Lazzeri, Paolo; Pepponi, Giancarlo; F., Gamberini
Highly sensitive detection of inorganic contamination 1-gen-2009 B., Beckhoff; A., Nutsch; R., Altmann; G., Borionetti; C., Pello; M. L., Polignano; D., Codegoni; S., Grasso; E., Cazzini; Bersani, Massimo; Lazzeri, Paolo; Gennaro, Salvatore; M., Kolbe; M., Mueller; P., Kregsamer; F., Posch
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