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The impact of the nitridation process on the properties of the Si-SiO2 interface 1-gen-2001 M. L., Polignano; M., Alessandri; B., Crivelli; R., Zonca; A. P., Caricato; Bersani, Massimo; M., Sbetti; Vanzetti, Lia Emanuela
SIMS and ToF-SIMS Quantitative Depth profiles Comparison on Ultra Thin Oxynitrides: Ultimate Depth Resolution Analyses 1-gen-2001 Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Vanzetti, Lia Emanuela; Lazzeri, Paolo; B., Crivelli; F., Zanderigo
D-Sims and TOF-SIMS quantitative depth profiles on ultra thin oxinitrides 1-gen-2001 Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Iacob, Erica; Vanzetti, Lia Emanuela; Anderle, Mariano; P., Lazzeri; B., Crivelli; F., Zanderigo
ToF-SIMS Study of Adhesive Residuals on Device Contact Pads after Wafer Taping and Backgrinding 1-gen-2001 Lazzeri, Paolo; G., Franco; C., Gerardi; A., Privitera; Vanzetti, Lia Emanuela; Bersani, Massimo; Iacob, Erica
XPS and SIMS Depth Profiling of Chlorine in Oxynitrides Obtained by HTO Process 1-gen-2001 Vanzetti, Lia Emanuela; Bersani, Massimo; M., Sbetti; Iacob, Erica; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; R., Zonca; C., Carpanese; F., Zanderigo
Materials Tranformation and kinetics in the formation of porous low-k polymer dielectrics for advanced interconnect technology 1-gen-2002 Lazzeri, Paolo; Anderle, Mariano; Vanzetti, Lia Emanuela; Bersani, Massimo; Jung Jin, Park; Z., Lin; G. Y., Ying; R. M., Briber; Gary Wayne, Rubloff
Sample topography developed by sputtering in Cameca instruments 1-gen-2002 Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Alberto, Lui; Vanzetti, Lia Emanuela; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Anderle, Mariano
XPS and SIMS Depth Profiling of Chlorine in High-Temperature Oxynitrides 1-gen-2002 Vanzetti, Lia Emanuela; Bersani, Massimo; M., Sbetti; Iacob, Erica; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; R., Zonca; B., Crivelli; C., Carpanese; F., Zanderigo
Sample topography developed by sputtering in a Cameca instruments: an AFM and SEM study 1-gen-2002 Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Lui, Alberto; Vanzetti, Lia Emanuela; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Anderle, Mariano
X-ray Photoelectron Spectroscopy of Nitrided Silicon-Silicon Oxide Interface 1-gen-2002 Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano
Nitrided Silicon-Silicon Dioxide Interface: Electrical And Physico-Chemical Characterization By Complementary Surface Analysis Techniques 1-gen-2002 Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; P., Bacciaglia; B., Crivelli; M. L., Polignano; M. E., Vitali
Nitride Silicon-Silicon Dioxide Interface: Electrical and Phisico-Chemical Characterization by Complementary Surface Techniques 1-gen-2002 Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; P., Bacciaglia; B., Crivelli; M. L., Polignano; M. E., Vitali
Quantitative Evaluation of iron at the silicon surface after wet cleaning treatments 1-gen-2002 D., Caputo; P., Bacciaglia; C., Carpanese; M. L., Polignano; Lazzeri, Paolo; Bersani, Massimo; Vanzetti, Lia Emanuela; P., Pianetta; L., Moro
ToF-SIMS and XPS charcterisation of urban aerosols for pollution studies 1-gen-2003 Lazzeri, Paolo; G., Franco; M., Garozzo; C., Gerardi; Iacob, Erica; Faro A., Lo; A., Privitera; Vanzetti, Lia Emanuela; Bersani, Massimo
In situ sputtering rate measurement by laser interferometer applied to SIMS analyses 1-gen-2003 Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; S., Bertoli; Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Anderle, Mariano
In situ sputtering rate measurement by laser interferometer applied to SIMS analyses 1-gen-2003 Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; E., Boscolo; Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Anderle, Mariano
D-SIMS and ToF-SIMS quantitative depth profiles comparison on ultra thin oxynitrides 1-gen-2003 Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Iacob, Erica; Vanzetti, Lia Emanuela; Anderle, Mariano; Lazzeri, Paolo; B., Crivelli; F., Zanderigo
ToF-SIMS study of adhesive residuals on device contact pads after wafer taping and backgrinding 1-gen-2003 Lazzeri, Paolo; G., Franco; M., Garozzo; C., Gerardi; Iacob, Erica; Faro A., Lo; A., Privitera; Vanzetti, Lia Emanuela; Bersani, Massimo
Material characterization and the formation of nanoporous PMSSQ low-k dielectrics 1-gen-2003 Lazzeri, Paolo; Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; J. J., Park; Z. Lin R. M., Briber; G. W., Rubloff; R. D., Miller
Material Characterization and the Formation of Nanoporous PMSSQ Low-K Dielectrics 1-gen-2003 Lazzeri, Paolo; Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; Jung Jin, Park; Z., Lin; R. M., Briber; Gary Wayne, Rubloff; D. R., Miller
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