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<110> square corner compensation and etch flow mechanism for anisotropic TMAH etching 1-gen-2006 R., Mukhiya; Bagolini, Alvise; Zen, Mario; S., Kal
Study of Bulk Micromachining Corner COmpensation with Electrochemical Anisotropic Etching 1-gen-2006 Bagolini, Alvise; Faes, Alessandro; Margesin, Benno
Correlation between silicon-nitride film stress and composition: XPS and SIMS analyses 1-gen-2006 Vanzetti, Lia Emanuela; Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano; C., Kompocholis; Bagolini, Alvise; Bellutti, Pierluigi
A single metal layer MEMS self-assembling coplanar structure 1-gen-2007 Bagolini, Alvise; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Bellutti, Pierluigi
Evidence of plasmon resonance of nickel particles deposited by pulsed laser ablation 1-gen-2008 Picciotto, Antonino; Pucker, Georg; L., Torrisi; Bellutti, Pierluigi; F., Caridi; Bagolini, Alvise
Seismic Velocity Sensor With an Internal Sky-Hook Damping Feedback Loop 1-gen-2008 Paolo, Gardonio; Marco, Gavagni; Bagolini, Alvise
Suspended connection array for ultra low temperature applications 1-gen-2008 Margesin, Benno; Bagolini, Alvise
Influence of interfaces’ density and thermal processes on mechanical stress of PECVD silicon nitride 1-gen-2009 Picciotto, Antonino; Bagolini, Alvise; Bellutti, Pierluigi; Boscardin, Maurizio
Development of Modified 3D Detectors at FBK 1-gen-2010 G. F., Dalla Betta; Bagolini, Alvise; Boscardin, Maurizio; L., Bosisio; Gabos, Paolo; Giacomini, Gabriele; Piemonte, Claudio; Povoli, Marco; Vianello, Elisa; Zorzi, Nicola
Influence of Etching Potential on Convex Corner Anisotropic Etching in TMAH Solution 1-gen-2010 Bagolini, Alvise; Faes, Alessandro; Decarli, Massimiliano
Development of Active and Slim Edge Terminations for 3D and Planar Detectors 1-gen-2011 Dalla Betta, Gian Franco; Bagolini, Alvise; Boscardin, Maurizio; Giacomini, Gabriele; Povoli, Marco; Vianello, Elisa; Zorzi, Nicola
Optimization of double side 3D detector technology for first productions at FBK 1-gen-2011 Vianello, Elisa; Bagolini, Alvise; Bellutti, Pierluigi; Boscardin, Maurizio; Dalla Betta, Gian Franco; Giacomini, Gabriele; Piemonte, Claudio; Povoli, Marco; Zorzi, Nicola
Development of planar detectors with active edge 1-gen-2011 Povoli, Marco; Bagolini, Alvise; Boscardin, Maurizio; Dalla Betta, Gian Franco; Giacomini, Gabriele; Vianello, Elisa; Zorzi, Nicola
3D-FBK pixel sensors: Recent beam tests results with irradiated devices 1-gen-2011 A., Micelli; K., Helle; H., Sandaker; B., Stugu; M., Barbero; F., Hügging; M., Karagounis; V., Kostyukhin; H., Krüger; J. W., Tsung; N., Wermes; M., Capua; S., Fazio; A., Mastroberardino; G., Susinno; C., Gallrapp; B., Di Girolamo; D., Dobos; A., La Rosa; H., Pernegger; S., Roe; T., Slavicek; S., Pospisil; K., Jakobs; M., Köhler; U., Parzefall; G., Darbo; G., Gariano; C., Gemme; A., Rovani; E., Ruscino; C., Butter; R., Bates; V., Oshea; S., Parker; M., Cavalli Sforza; S., Grinstein; I., Korokolov; C., Pradilla; K., Einsweiler; M., Garcia Sciveres; M., Borri; C., Da Vià; J., Freestone; S., Kolya; C. H., Lai; C., Nellist; J., Pater; R., Thompson; S. J., Watts; M., Hoeferkamp; S., Seidel; E., Bolle; H., Gjersdal; K. N., Sjoebaek; S., Stapnes; O., Rohne; D., Su; C., Young; P., Hansson; P., Grenier; J., Hasi; C., Kenney; M., Kocian; P., Jackson; D., Silverstein; H., Davetak; B., Dewilde; D., Tsybychev; Dalla Betta, Gian Franco; Gabos, Paolo; Povoli, Marco; M., Cobal; M. P., Giordani; L., Selmi; A., Cristofoli; D., Esseni; P., Palestri; C., Fleta; M., Lozano; G., Pellegrini; Boscardin, Maurizio; Bagolini, Alvise; Piemonte, Claudio; Ronchin, Sabina; Zorzi, Nicola; T. E., Hansen; T., Hansen; A., Kok; N., Lietaer; J., Kalliopuska; A., Oja
Experimental study and analysis of corner compensation structures for CMOS compatible bulk micromachining using 25wt% TMAH 1-gen-2011 R., Mukhiya; Bagolini, Alvise; T. K., Bhattacharyya; Lorenzelli, Leandro; Zen, Mario
Wideband mechanical response of high-Q silicon Double Paddle Oscillator 1-gen-2011 A., Borielli; Bonaldi, Michele; Serra, Enrico; Bagolini, Alvise; L., Conti
Slim edges in double-sided silicon 3D detectors 1-gen-2012 Povoli, Marco; Bagolini, Alvise; Boscardin, Maurizio; Dalla Betta, Gian Franco; Giacomini, Gabriele; Vianello, Elisa; Zorzi, Nicola
Prototype ATLAS IBL modules using the FE-I4A front-end readout chip 1-gen-2012 J., Albert; M., Alex; G., Alimonti; P., Allport; S., Altenheiner; L. S., Ancu; A., Andreazza; J., Arguin; D., Arutinov; M., Backhaus; Bagolini, Alvise; J., Ballansat; M., Barbero; G., Barbier; R., Bates; M., Battistin; P., Baudin; T., Beau; R., Beccherle; H., Beck; M., Benoit; J., Bensinger; M., Bomben; M., Borri; Boscardin, Maurizio; J., Botelho direito; N., Bousson; R. G., Boyd; P., Breugnon; G., Bruni; M., Bruschi; P., Buchholz; C., Buttar; F., Cadoux; G., Calderini; L., Caminada; M., Capeans; G., Casse; A., Catinaccio; M., Cavalli Sforza; J., Chauveau; M., Chu; M., Ciapetti; V., Cindro; M., Citterio; A., Clark; M., Cobal; S., Coelli; A., Colijn; D., Colin; J., Collot; O., Crespo Lopez; Dalla Betta, Gian Franco; G., Darbo; C., Da Via; P., David; S., Debieux; P., Delebecque; E., Devetak; B., Dewilde; B., Di Girolamo; N., Dinu; F., Dittus; D., Diyakov; F., Djama; D., Dobos; K., Doonan; J., Dopke; O., Dorholt; S., Dube; A., Dushkin; D., Dzahini; K., Egorov; O., Ehrmann; D., Elldge; S., Elles; M., Elsing; L., Eraud; A., Ereditato; A., Eyring; D., Falchieri; A., Falou; X., Fang; C., Fausten; Y., Favre; D., Ferrere; C., Fleta; J., Fleury; T., Flick; D., Forshaw; D., Fougeron; T., Fritzsch; A., Gabrielli; R., Gaglione; C., Gallrapp; K., Gan; M., Garcia Sciveres; G., Gariano; T., Gastaldi; C., Gemme; F., Gensolen; M., George; P., Ghislain; Giacomini, Gabriele; S., Gibson; M., Giordani; D., Giugni; H., Gjersdal; K., Glitza; D., Gnani; J., Godlewski; L., Gonella; I., Gorelov; A., Gorisek; C., Goessling; S., Grancagnolo; H., Gray; I., Gregor; P., Grenier; S., Grinstein; V., Gromov; D., Grondin; J., Grosse Knetter; T., Hansen; P., Hansson; A., Harb; N., Hartman; J., Hasi; F., Hegner; T., Heim; B., Heinemann; T., Hemperek; N., Hessey; M., Hetmanek; M., Hoeferkamp; J., Hostachy; F., Huegging; C., Husi; G., Iacobucci; J., Idarraga; Y., Ikegami; Z., Janoska; J., Jansen; L., Jansen; F., Jensen; J., Jentzsch; J., Joseph; H., Kagan; M., Karagounis; R., Kass; C., Kenney; S., Kersten; P., Kind; R., Klingenberg; R., Kluit; M., Kocian; E., Koffeman; A., Kok; O., Korchak; I., Korolkov; V., Kostyukhin; N., Krieger; H., Krueger; A., Kruth; A., Kugel; W., Kuykendall; A., La Rosa; C., Lai; K., Lantzsch; D., Laporte; T., Lapsien; A., Lounis; M., Lozano; Y., Lu; H., Lubatti; A., Macchiolo; U., Mallik; I., Mandic; D., Marchand; G., Marchiori; N., Massol; W., Matthias; P., Mattig; A., Mekkaoui; M., Menouni; J., Menu; C., Meroni; J., Mesa; A., Micelli; S., Michal; S., Miglioranzi; M., Mikuz; S., Mitsui; M., Monti; J., Moore; P., Morettini; D., Muenstermann; P., Murray; C., Nellist; D., Nelson; M., Nessi; M., Neumann; R., Nisius; M., Nordberg; F., Nuiry; H., Oppermann; M., Oriunno; C., Padilla; S., Parker; G., Pellegrini; G., Pelleriti; H., Pernegger; N., Piacquadio; A., Picazio; D., Pohl; A., Polini; J., Popule; X., Portell Bueso; Povoli, Marco; D., Puldon; Y., Pylypchenko; A., Quadt; D., Quirion; F., Ragusa; T., Rambure; E., Richards; B., Ristic; O., Rohne; M., Rothermund; A., Rovani; A., Rozanov; I., Rubinskiy; M., Rudolph; A., Rummler; E., Ruscino; D., Salek; A., Salzburger; H., Sandaker; J., Schipper; B., Schneider; A., Schorlemmer; N., Schroer; P., Schwemling; S., Seidel; A., Seiden; P., Sicho; P., Skubic; M., Sloboda; D., Smith; A., Sood; E., Spencer; M., Strang; B., Stugu; J., Stupak; D., Su; Y., Takubo; J., Tassan; P., Teng; S., Terada; T., Todorov; M., Tomasek; K., Toms; R., Travaglini; W., Trischuk; C., Troncon; G., Troska; S., Tsiskaridze; I., Tsurin; D., Tsybychev; Y., Unno; L., Vacavant; B., Verlaat; Vianello, Elisa; E., Vigeolas; S., von Kleist; V., Vrba; R., Vuillermet; R., Wang; S., Watts; M., Weber; M., Weber; P., Weigell; J., Weingarten; S., Welch; S., Wenig; N., Wermes; A., Wiese; T., Wittig; T., Yildizkaya; C., Zeitnitz; M., Ziolkowski; V., Zivkovic; A., Zoccoli; Zorzi, Nicola; L., Zwalinski
Layout and Process Improvements to Double-Sided Silicon 3D Detectors Fabricated at FBK 1-gen-2012 Povoli, Marco; Dalla Betta, Gian Franco; Bagolini, Alvise; Boscardin, Maurizio; Giacomini, Gabriele; Mattedi, Francesca; Zorzi, Nicola
Design and testing of an innovative slim-edge termination for silicon radiation detectors 1-gen-2013 Povoli, Marco; Bagolini, Alvise; Boscardin, Maurizio; Dalla Betta, Gian Franco; Giacomini, Gabriele; Mattedi, Francesca; Mendicino, R.; Zorzi, Nicola
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