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Real-time observation and optimization of tungsten ALD process cycle 1-gen-2006 W., Lei; L., Henn Lecordier; Anderle, Mariano; G. W., Rubloff; Barozzi, Mario; Bersani, Massimo
Arsenic uphill diffusion during shallow junction formation 1-gen-2006 M. Ferri; S. Solmi; A. Parisini; M. Bersani; D. Giubertoni; M. Barozzi
ToF-SIMS and AFM studies of low-k dielectric etching in fluorocarbon plasmas 1-gen-2006 P., Lazzeri; X., Hua; G. S., Oehrlein; Iacob, Erica; Barozzi, Mario; Bersani, Massimo; M., Anderle
Analytical methodology development for SRO chemical physical characterization 1-gen-2006 Barozzi, Mario; Iacob, Erica; Vanzetti, Lia Emanuela; Bersani, Massimo; Pucker, Georg; C., Kompocholis
Correlation between silicon-nitride film stress and composition: XPS and SIMS analyses 1-gen-2006 Vanzetti, Lia Emanuela; Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano; C., Kompocholis; Bagolini, Alvise; Bellutti, Pierluigi
Analytical methodology development for Silicon rich oxide chemical physical characterization 1-gen-2007 Barozzi, Mario; Iacob, Erica; Vanzetti, Lia Emanuela; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; Pucker, Georg; Kompocholis, Constantine
Analytical Methodology Development for Silicon-rich-oxide Chemical and Physical Characterization 1-gen-2007 Barozzi, Mario; Iacob, Erica; Vanzetti, Lia Emanuela; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; Pucker, Georg; C., Kompocholis
Multilayer silicon rich oxy-nitride films characterization by SIMS, VASE and AFM 1-gen-2007 M. Barozzi; L. Vanzetti; E. Iacob; M. Bersani; M. Anderle; G. Pucker; C. Kompocholis; M. Ghulinyan; P. Bellutti
Depth profile investigations of silicon nanocrystals formed in sapphire by ion implantation 1-gen-2007 Selcuk Yerci; I. Yildiz; M. Kulacki; U. Serincan; Mario Barozzi; Massimo Bersani
Combined XPS, SIMS and AFM analysis of silicon nano-crystals embedded in silicon oxide layers 1-gen-2007 Vanzetti, Lia Emanuela; Barozzi, Mario; Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Pucker, Georg; Bellutti, Pierluigi
Multilayer silicon rich oxy-nitride films characterization by SIMS, VASE and AFM 1-gen-2008 Barozzi, Mario; Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Bersani, Massimo; A., Anderle; Pucker, Georg; Constantine, Kompocholis; Ghulinyan, Mher; Bellutti, Pierluigi
Phase separation and layer mixing in SiO2/SiOx superlattices 1-gen-2008 Pucker, Georg; Ghulinyan, Mher; Barozzi, Mario; Vanzetti, Lia Emanuela; Picciotto, Antonino; M., Wang; Bersani, Massimo
Combined XPS, SIMS and AFM analysis of silicon nanocrystals embedded in silicon oxide layers 1-gen-2008 Vanzetti, Lia Emanuela; Barozzi, Mario; Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Pucker, Georg; Bellutti, Pierluigi
Secondary ion mass spectrometry analysis applications on semiconductor materials 1-gen-2008 Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; Gennaro, Salvatore; Barozzi, Mario; Canteri, Roberto; Vanzetti, Lia Emanuela; Pepponi, Giancarlo; Anderle, Mariano
Structural analyses of thermal annealed SRO/SiO2 superlattices 1-gen-2010 Vanzetti, Lia Emanuela; Pucker, Georg; S., Milita; Barozzi, Mario; Ghulinyan, Mher; Bersani, Massimo
Visita ispettiva annuale di sorveglianza Accredia 1-gen-2010 Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Vanzetti, Lia Emanuela
High performance n+/p and p+/n germanium diodes at low-temperature activation annealing 1-gen-2011 V., Ioannou Sougleridis; S. F., Galata; E., Golias; T., Speliotis; A., Dimoulas; Giubertoni, Damiano; Gennaro, Salvatore; Barozzi, Mario
Visita ispettiva annuale di sorveglianza Accredia 1-gen-2011 Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Vanzetti, Lia Emanuela; Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano
Characterisation of ultra-shallow disorder profiles and dielectric functions in ion implanted Si 1-gen-2011 I., Mohacsi; P., Petrik; M., Fried; T., Lohner; J. A., van den Berg; M. A., Reading; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; A., Parisini
TiN/STO/TiN MIMcaps nanolayers on silicon characterized by SIMS and AFM 1-gen-2011 Mario Barozzi; Erica Iacob; Jaap Van Den Berg; Mike Reading; Christoph Adelmann; Hilde Tielens; Massimo Bersani; Mihaela Popovici
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