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Anisotropic etching rates in TMAH solutions of different Si crystallographic orientation as a function of film stress 1-gen-2002 Guarnieri, Vittorio; Bagolini, Alvise; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Zen, Mario; Decarli, Massimiliano; Ramjay, Pal; Soncini, Giovanni
Cr/Ni/Au multilayer films for high temperature MEMS applications 1-gen-2002 Guarnieri, Vittorio; Ramjay, Pal; Bagolini, Alvise; Micheli, Victor; Filippi, Massimiliano; Decarli, Massimiliano; Moscon, Franco; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Soncini, Giovanni; Zen, Mario
MOS Junction based Nanostructures by Thermal Oxidation of Silicon Wires for Hydrogen Detection 1-gen-2003 Tibuzzi, Arianna; Decarli, Massimiliano; Soncini, Giovanni; C., Di Natale; A., D'Amico; Margesin, Benno; Zen, Mario
Anemometric air flow sensor on Silicon membrane 1-gen-2003 Guarnieri, Vittorio; Bagolini, Alvise; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Zen, Mario; Decarli, Massimiliano; Soncini, Giovanni; Alexey, Vasiliev
Micromachined flow sensor on silicon membrane 1-gen-2003 Guarnieri, Vittorio; Decarli, Massimiliano; Bagolini, Alvise; Alexey, Vasiliev; Zen, Mario; Soncini, Giovanni
Stress Characterization of Silicon Oxide, Silicon Nitride, Chromium and Gold Films for Micromechanics 1-gen-2003 Bagolini, Alvise; Margesin, Benno; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Faes, Alessandro; R., Pal; Decarli, Massimiliano
Stress characterization of electroplated gold layers for low temperature surface micromachining 1-gen-2003 Margesin, Benno; Bagolini, Alvise; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Faes, Alessandro; Ramjay, Pal; Decarli, Massimiliano
MOS Junction based Nanostructures by Thermal Oxidation of Silicon Wires for Hydrogen Detection 1-gen-2003 Tibuzzi, Arianna; Decarli, Massimiliano; Soncini, Giovanni; C., Di Natale; A., D'Amico; Margesin, Benno; Zen, Mario
Influence of masking layer stress on anisotropic silicon etching in TMAH solutions 1-gen-2003 Decarli, Massimiliano; Guarnieri, Vittorio; Ramjay, Pal; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Zen, Mario
Stress Characterization of Silicon Oxide, Silicon Nitride, Chromium and Gold Films for Micromechanics 1-gen-2004 Bagolini, Alvise; Margesin, Benno; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Faes, Alessandro; R., Pal; Decarli, Massimiliano
MOS-Junction-Based Nanostructures by Thermal Oxidation of Silicon Wires for Hydrogen Detection 1-gen-2004 Tibuzzi, Arianna; Margesin, Benno; Decarli, Massimiliano; C., Di Natale; Zen, Mario; A., D'Amico; Soncini, Giovanni
An innovative microalcoholometer based on AI2O4 microhotplates 1-gen-2004 Decarli, Massimiliano; Guarnieri, Vittorio; A., Vasiliev; Soncini, Giovanni; Zen, Mario
A Silicon micromachined alcoholometer 1-gen-2004 Guarnieri, Vittorio; Decarli, Massimiliano; Soncini, Giovanni; Zen, Mario
Microcantilever-based sensor array for amine detection in agroo-food applications 1-gen-2005 Adami, Andrea; Decarli, Massimiliano; Guarnieri, Vittorio; Lorenzelli, Leandro; Zen, Mario
Design and fabrication of a Silicon microalcoholometer 1-gen-2005 Guarnieri, Vittorio; Decarli, Massimiliano; Zen, Mario; Soncini, Giovanni
A micromachined flow sensor for monitoring and evaluation of urinary disfunction 1-gen-2005 Decarli, Massimiliano; Guarnieri, Vittorio; Faes, Alessandro; Margesin, Benno; N., Viarani; Massari, Nicola; Gottardi, Massimo; Simoni, Andrea; M., Paranjape; Zen, Mario
A MEMS-based liquid flow sensor for medical diagnostics 1-gen-2005 Decarli, Massimiliano; Guarnieri, Vittorio; Faes, Alessandro; Margesin, Benno; M., Paranjape; Lorenzelli, Leandro; Zen, Mario
CO2 sensor system including a microheater and a thermopile 1-gen-2005 A., Catini; A., Pasquini; F., Lo Castro; A., D'Amico; C., Di Natale; C., Corsi; Soncini, Giovanni; Decarli, Massimiliano; Tibuzzi, Arianna; Guarnieri, Vittorio
A Low Cost Micro-System for Non-Invasive Uroflowmetry 1-gen-2006 N., Viarani; Massari, Nicola; Gottardi, Massimo; Simoni, Andrea; Margesin, Benno; Faes, Alessandro; Decarli, Massimiliano; Guarnieri, Vittorio
MEMS-based approach to liquid chromatographic sepaeation. 1-gen-2006 A., Benvenuto; Guarnieri, Vittorio; Lorenzelli, Leandro; Collini, Cristian; Decarli, Massimiliano; Adami, Andrea; Potrich, Cristina; Pederzolli, Cecilia; Zen, Mario
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