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Applicazioni della spettrometria di massa a materiali e tecniche di ultima generazione
2000-01-01 Bersani, Massimo; M., Sbetti; Lazzeri, Paolo; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Iacob, Erica; Vanzetti, Lia Emanuela; Anderle, Mariano
Deph profiling and quantification of chlorine and nitrogen in oxynitrides obtained by HTO process
2000-01-01 Bersani, Massimo; M., Sbetti; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Iacob, Erica
Investigation of C49-C54 TiSi2 Transformation kinetics
2000-01-01 Giampiero, Ottaviani; Rita, Tonini; Giubertoni, Damiano; A., Sabbadini; Tina, Marangon; Giuseppe, Queirolo; Francesco La, Via
Depth profiling and quantification of chlorine and nitrogen in oxynitrides obtained by HTO process
2000-01-01 Bersani, Massimo; M., Sbettti; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Iacob, Erica
SIMS and ToF-SIMS Quantitative Depth profiles Comparison on Ultra Thin Oxynitrides: Ultimate Depth Resolution Analyses
2001-01-01 Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Vanzetti, Lia Emanuela; Lazzeri, Paolo; B., Crivelli; F., Zanderigo
Initial reactions in TiSi bilayers - new indications from in-situ measurements
2001-01-01 Roberto, Cocchi; Giubertoni, Damiano; Giampiero, Ottaviani; Tina, Marangon; G., Mastracchio; Giuseppe, Queirolo; A., Sabbadini
D-Sims and TOF-SIMS quantitative depth profiles on ultra thin oxinitrides
2001-01-01 Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Iacob, Erica; Vanzetti, Lia Emanuela; Anderle, Mariano; P., Lazzeri; B., Crivelli; F., Zanderigo
Ultrathin Multilayer Dielectrics Analyses by XPS wet-etching and SIMS profile
2001-01-01 Iacob, Erica; M., Sbetti; Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano; Bersani, Massimo; B., Crivelli; R., Zonca; F., Zanderigo; M. E., Vitali
MCs+ and MCs2+ Molecular Ions Emission from Transition Metal Silicides
2001-01-01 Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Iacob, Erica; Anderle, Mariano
XPS and SIMS Depth Profiling of Chlorine in Oxynitrides Obtained by HTO Process
2001-01-01 Vanzetti, Lia Emanuela; Bersani, Massimo; M., Sbetti; Iacob, Erica; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; R., Zonca; C., Carpanese; F., Zanderigo
Arsenic shallow implant characterization by magnetic sector and time of flight SIMS instruments
2002-01-01 Bersani, Massimo; Lazzeri, Paolo; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Marchi E., Boscolo; Anderle, Mariano
Sample topography developed by sputtering in Cameca instruments
2002-01-01 Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Alberto, Lui; Vanzetti, Lia Emanuela; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Anderle, Mariano
XPS and SIMS Depth Profiling of Chlorine in High-Temperature Oxynitrides
2002-01-01 Vanzetti, Lia Emanuela; Bersani, Massimo; M., Sbetti; Iacob, Erica; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; R., Zonca; B., Crivelli; C., Carpanese; F., Zanderigo
Investigation on indium diffusion in silicon
2002-01-01 S., Solmi; A., Parisini; Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; V., Soncini; G., Carnevale; A., Benvenuti; A., Marmiroli
Sample topography developed by sputtering in a Cameca instruments: an AFM and SEM study
2002-01-01 Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Lui, Alberto; Vanzetti, Lia Emanuela; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Anderle, Mariano
Arsenic Shallow Implant Characterization by Magnetic Sector and TOF-SIMS Instruments
2002-01-01 Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Lazzeri, Paolo; Anderle, Mariano; Bersani, Massimo
X-ray Photoelectron Spectroscopy of Nitrided Silicon-Silicon Oxide Interface
2002-01-01 Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano
Shallow junction: stato dell'arte ed esigenze analitiche
2002-01-01 Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; E., Boscolo; Bersani, Massimo; M., Anderle
Nitride Silicon-Silicon Dioxide Interface: Electrical and Phisico-Chemical Characterization by Complementary Surface Techniques
2002-01-01 Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; P., Bacciaglia; B., Crivelli; M. L., Polignano; M. E., Vitali
Nitrided Silicon-Silicon Dioxide Interface: Electrical And Physico-Chemical Characterization By Complementary Surface Analysis Techniques
2002-01-01 Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; P., Bacciaglia; B., Crivelli; M. L., Polignano; M. E., Vitali
Titolo | Data di pubblicazione | Autore(i) | File |
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Applicazioni della spettrometria di massa a materiali e tecniche di ultima generazione | 1-gen-2000 | Bersani, Massimo; M., Sbetti; Lazzeri, Paolo; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Iacob, Erica; Vanzetti, Lia Emanuela; Anderle, Mariano | |
Deph profiling and quantification of chlorine and nitrogen in oxynitrides obtained by HTO process | 1-gen-2000 | Bersani, Massimo; M., Sbetti; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Iacob, Erica | |
Investigation of C49-C54 TiSi2 Transformation kinetics | 1-gen-2000 | Giampiero, Ottaviani; Rita, Tonini; Giubertoni, Damiano; A., Sabbadini; Tina, Marangon; Giuseppe, Queirolo; Francesco La, Via | |
Depth profiling and quantification of chlorine and nitrogen in oxynitrides obtained by HTO process | 1-gen-2000 | Bersani, Massimo; M., Sbettti; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Iacob, Erica | |
SIMS and ToF-SIMS Quantitative Depth profiles Comparison on Ultra Thin Oxynitrides: Ultimate Depth Resolution Analyses | 1-gen-2001 | Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Vanzetti, Lia Emanuela; Lazzeri, Paolo; B., Crivelli; F., Zanderigo | |
Initial reactions in TiSi bilayers - new indications from in-situ measurements | 1-gen-2001 | Roberto, Cocchi; Giubertoni, Damiano; Giampiero, Ottaviani; Tina, Marangon; G., Mastracchio; Giuseppe, Queirolo; A., Sabbadini | |
D-Sims and TOF-SIMS quantitative depth profiles on ultra thin oxinitrides | 1-gen-2001 | Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Iacob, Erica; Vanzetti, Lia Emanuela; Anderle, Mariano; P., Lazzeri; B., Crivelli; F., Zanderigo | |
Ultrathin Multilayer Dielectrics Analyses by XPS wet-etching and SIMS profile | 1-gen-2001 | Iacob, Erica; M., Sbetti; Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano; Bersani, Massimo; B., Crivelli; R., Zonca; F., Zanderigo; M. E., Vitali | |
MCs+ and MCs2+ Molecular Ions Emission from Transition Metal Silicides | 1-gen-2001 | Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Iacob, Erica; Anderle, Mariano | |
XPS and SIMS Depth Profiling of Chlorine in Oxynitrides Obtained by HTO Process | 1-gen-2001 | Vanzetti, Lia Emanuela; Bersani, Massimo; M., Sbetti; Iacob, Erica; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; R., Zonca; C., Carpanese; F., Zanderigo | |
Arsenic shallow implant characterization by magnetic sector and time of flight SIMS instruments | 1-gen-2002 | Bersani, Massimo; Lazzeri, Paolo; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Marchi E., Boscolo; Anderle, Mariano | |
Sample topography developed by sputtering in Cameca instruments | 1-gen-2002 | Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Alberto, Lui; Vanzetti, Lia Emanuela; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Anderle, Mariano | |
XPS and SIMS Depth Profiling of Chlorine in High-Temperature Oxynitrides | 1-gen-2002 | Vanzetti, Lia Emanuela; Bersani, Massimo; M., Sbetti; Iacob, Erica; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; R., Zonca; B., Crivelli; C., Carpanese; F., Zanderigo | |
Investigation on indium diffusion in silicon | 1-gen-2002 | S., Solmi; A., Parisini; Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; V., Soncini; G., Carnevale; A., Benvenuti; A., Marmiroli | |
Sample topography developed by sputtering in a Cameca instruments: an AFM and SEM study | 1-gen-2002 | Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Lui, Alberto; Vanzetti, Lia Emanuela; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Anderle, Mariano | |
Arsenic Shallow Implant Characterization by Magnetic Sector and TOF-SIMS Instruments | 1-gen-2002 | Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Lazzeri, Paolo; Anderle, Mariano; Bersani, Massimo | |
X-ray Photoelectron Spectroscopy of Nitrided Silicon-Silicon Oxide Interface | 1-gen-2002 | Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano | |
Shallow junction: stato dell'arte ed esigenze analitiche | 1-gen-2002 | Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; E., Boscolo; Bersani, Massimo; M., Anderle | |
Nitride Silicon-Silicon Dioxide Interface: Electrical and Phisico-Chemical Characterization by Complementary Surface Techniques | 1-gen-2002 | Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; P., Bacciaglia; B., Crivelli; M. L., Polignano; M. E., Vitali | |
Nitrided Silicon-Silicon Dioxide Interface: Electrical And Physico-Chemical Characterization By Complementary Surface Analysis Techniques | 1-gen-2002 | Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; P., Bacciaglia; B., Crivelli; M. L., Polignano; M. E., Vitali |
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