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Characterization of TMAH Silicon Etchant Using Ammomium Persulfate as an Oxidizing Agent
1998-01-01 M., Paranjape; Sebastiano, Brida; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Zen, Mario
Characterization of Silicon Anisotropic TMAH Etch for Bulk Micromachining
1998-01-01 Sebastiano, Brida; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Zen, Mario
Feasibility study on fabrication of piezoresistive pressure sensors using silicon micromachining technology
1998-01-01 Sebastiano, Brida; Ferrario, Lorenza; Giacomozzi, Flavio; Gregori, Paolo; Guarnieri, Vittorio; Margesin, Benno; F., Merz; G., Verzellesi; Zen, Mario
Silicon bulk micromachining for sensor technologies
1999-01-01 Zen, Mario; G., Pignatel; S., Brida; Faes, Alessandro; Ferrario, Lorenza; Guarnieri, Vittorio; Margesin, Benno; G., Soncini
Low-Power Silicon Microheaters for Gas Sensors
1999-01-01 Sebastiano, Brida; Giacomozzi, Flavio; D., Giusti; Guarnieri, Vittorio; Margesin, Benno; Zen, Mario
Microstructures etched in doped TMAH solutions
1999-01-01 Sebastiano, Brida; Faes, Alessandro; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; M., Paranjape; Giorgio Umberto, Pignatel; Zen, Mario
Optimization of TMAH etching for MEMS
1999-01-01 Sebastiano, Brida; Ferrario, Lorenza; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; G., Verzellesi; Zen, Mario
Characterization of TMAH Silicon Etchant Using Ammonium Persulfate as an Oxidizing Agent
1999-01-01 Sebastiano, Brida; Guarnieri, Vittorio; M., Pranjape; Giacomozzi, Flavio; Zen, Mario
Development of silicon microheaters for chemoresistive gas sensors
1999-01-01 Sebastiano, Brida; Ferrario, Lorenza; Giacomozzi, Flavio; D., Giusti; Guarnieri, Vittorio; Margesin, Benno; Giorgio Umberto, Pignatel; Soncini, Giovanni; Alexey, Vasiliev; G., Verzellesi; Zen, Mario
Micromachined dielectric membranes for microwave applications
1999-01-01 Giacomozzi, Flavio; Guarnieri, Vittorio; Margesin, Benno; A., Muller; Zen, Mario; F., Riesz
Silicon based microbridges for gas sensing applications
1999-01-01 D., Vincenzi; M. A., Butturri; G., Martinelli; Sebastiano, Brida; Giacomozzi, Flavio; Guarnieri, Vittorio; Margesin, Benno; Zen, Mario; D., Giusti; M. A., Carotta; Soncini, Giovanni
Low power Silicon microheaters on a thin dielectric membrane with Thick Film Sensing Layer for gas sensor applications
2000-01-01 Guarnieri, Vittorio; Sebastiano, Brida; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Zen, Mario; Alexey, Vasiliev; Alexandr Viktorovich, Pisliakov; Soncini, Giovanni; Giorgio Umberto, Pignatel; D., Vincenzi; G., Martinelli; M. C., Carotta; M. A., Butturi
Thick-film gas-sensing microarray with VLSI-compatible micromachined hotplates
2000-01-01 D., Vincenzi; M. A., Butturi; V., Guidi; M. C., Carotta; G., Martinelli; Guarnieri, Vittorio; Sebastiano, Brida; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Zen, Mario; D., Giusti; Soncini, Giovanni
Structural changes of Ti/TiN/Cr/Au multilayers after high temperature annealing
2000-01-01 D., Vincenzi; M. A., Butturi; M., Stefancich; V., Guidi; G., Martinelli; Guarnieri, Vittorio; Sebastiano, Brida; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Zen, Mario; D., Boscarino; Mea G., Della
Microstructures etched in doped TMAH solutions
2000-01-01 S., Brida; Faes, Alessandro; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; M., Paranjape; G., Pignatel; Zen, Mario
Micromachined Dielectric Membranes for Microwave Applications
2000-01-01 Giacomozzi, Flavio; Guarnieri, Vittorio; Margesin, Benno; A., Muller; Zen, Mario; F., Riesz
Membrane-type Gas Sensor with Thick Film Sensing Layer: Optimization of Heat Loses
2000-01-01 Alexey, Vasiliev; Alexandr Viktorovich, Pisliakov; Zen, Mario; Margesin, Benno; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Sebastiano, Brida; Soncini, Giovanni; D., Vincenzi; G., Martinelli; M. C., Carotta; M. A., Butturi
Tecnologie micromeccaniche per sensoristica integrata in silicio
2000-01-01 Sebastiano, Brida; Giacomozzi, Flavio; Guarnieri, Vittorio; Ferrario, Lorenza; Margesin, Benno; Zen, Mario; Faes, Alessandro; Giorgio Umberto, Pignatel; Soncini, Giovanni
Gas-Sensing Device implemented on a Micromachined Membrane: a Combination of Thick-Film and VLSI Technologies
2000-01-01 D., Vincenzi; M. A., Butturi; V., Guidi; M. C., Carotta; G., Martinelli; Guarnieri, Vittorio; Sebastiano, Brida; Margesin, Benno; Giacomozzi, Flavio; Zen, Mario; D., Giusti; Soncini, Giovanni; Alexey, Vasiliev; S., Pisliakov
Development of a low-power thick-film gas sensor deposited by screen-printing technique onto a micromachined hotplate
2001-01-01 D., Vincenzi; M. A., Butturi; V., Guidi; M. C., Carotta; G., Martinelli; Guarnieri, Vittorio; Sebastiano, Brida; Margesin, Benno; Giacomozzi, Flavio; Zen, Mario; U., Pignatel; Alexey, Vasiliev; S., Pisliakov
Titolo | Data di pubblicazione | Autore(i) | File |
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Characterization of TMAH Silicon Etchant Using Ammomium Persulfate as an Oxidizing Agent | 1-gen-1998 | M., Paranjape; Sebastiano, Brida; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Zen, Mario | |
Characterization of Silicon Anisotropic TMAH Etch for Bulk Micromachining | 1-gen-1998 | Sebastiano, Brida; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Zen, Mario | |
Feasibility study on fabrication of piezoresistive pressure sensors using silicon micromachining technology | 1-gen-1998 | Sebastiano, Brida; Ferrario, Lorenza; Giacomozzi, Flavio; Gregori, Paolo; Guarnieri, Vittorio; Margesin, Benno; F., Merz; G., Verzellesi; Zen, Mario | |
Silicon bulk micromachining for sensor technologies | 1-gen-1999 | Zen, Mario; G., Pignatel; S., Brida; Faes, Alessandro; Ferrario, Lorenza; Guarnieri, Vittorio; Margesin, Benno; G., Soncini | |
Low-Power Silicon Microheaters for Gas Sensors | 1-gen-1999 | Sebastiano, Brida; Giacomozzi, Flavio; D., Giusti; Guarnieri, Vittorio; Margesin, Benno; Zen, Mario | |
Microstructures etched in doped TMAH solutions | 1-gen-1999 | Sebastiano, Brida; Faes, Alessandro; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; M., Paranjape; Giorgio Umberto, Pignatel; Zen, Mario | |
Optimization of TMAH etching for MEMS | 1-gen-1999 | Sebastiano, Brida; Ferrario, Lorenza; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; G., Verzellesi; Zen, Mario | |
Characterization of TMAH Silicon Etchant Using Ammonium Persulfate as an Oxidizing Agent | 1-gen-1999 | Sebastiano, Brida; Guarnieri, Vittorio; M., Pranjape; Giacomozzi, Flavio; Zen, Mario | |
Development of silicon microheaters for chemoresistive gas sensors | 1-gen-1999 | Sebastiano, Brida; Ferrario, Lorenza; Giacomozzi, Flavio; D., Giusti; Guarnieri, Vittorio; Margesin, Benno; Giorgio Umberto, Pignatel; Soncini, Giovanni; Alexey, Vasiliev; G., Verzellesi; Zen, Mario | |
Micromachined dielectric membranes for microwave applications | 1-gen-1999 | Giacomozzi, Flavio; Guarnieri, Vittorio; Margesin, Benno; A., Muller; Zen, Mario; F., Riesz | |
Silicon based microbridges for gas sensing applications | 1-gen-1999 | D., Vincenzi; M. A., Butturri; G., Martinelli; Sebastiano, Brida; Giacomozzi, Flavio; Guarnieri, Vittorio; Margesin, Benno; Zen, Mario; D., Giusti; M. A., Carotta; Soncini, Giovanni | |
Low power Silicon microheaters on a thin dielectric membrane with Thick Film Sensing Layer for gas sensor applications | 1-gen-2000 | Guarnieri, Vittorio; Sebastiano, Brida; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Zen, Mario; Alexey, Vasiliev; Alexandr Viktorovich, Pisliakov; Soncini, Giovanni; Giorgio Umberto, Pignatel; D., Vincenzi; G., Martinelli; M. C., Carotta; M. A., Butturi | |
Thick-film gas-sensing microarray with VLSI-compatible micromachined hotplates | 1-gen-2000 | D., Vincenzi; M. A., Butturi; V., Guidi; M. C., Carotta; G., Martinelli; Guarnieri, Vittorio; Sebastiano, Brida; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Zen, Mario; D., Giusti; Soncini, Giovanni | |
Structural changes of Ti/TiN/Cr/Au multilayers after high temperature annealing | 1-gen-2000 | D., Vincenzi; M. A., Butturi; M., Stefancich; V., Guidi; G., Martinelli; Guarnieri, Vittorio; Sebastiano, Brida; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Zen, Mario; D., Boscarino; Mea G., Della | |
Microstructures etched in doped TMAH solutions | 1-gen-2000 | S., Brida; Faes, Alessandro; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; M., Paranjape; G., Pignatel; Zen, Mario | |
Micromachined Dielectric Membranes for Microwave Applications | 1-gen-2000 | Giacomozzi, Flavio; Guarnieri, Vittorio; Margesin, Benno; A., Muller; Zen, Mario; F., Riesz | |
Membrane-type Gas Sensor with Thick Film Sensing Layer: Optimization of Heat Loses | 1-gen-2000 | Alexey, Vasiliev; Alexandr Viktorovich, Pisliakov; Zen, Mario; Margesin, Benno; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Sebastiano, Brida; Soncini, Giovanni; D., Vincenzi; G., Martinelli; M. C., Carotta; M. A., Butturi | |
Tecnologie micromeccaniche per sensoristica integrata in silicio | 1-gen-2000 | Sebastiano, Brida; Giacomozzi, Flavio; Guarnieri, Vittorio; Ferrario, Lorenza; Margesin, Benno; Zen, Mario; Faes, Alessandro; Giorgio Umberto, Pignatel; Soncini, Giovanni | |
Gas-Sensing Device implemented on a Micromachined Membrane: a Combination of Thick-Film and VLSI Technologies | 1-gen-2000 | D., Vincenzi; M. A., Butturi; V., Guidi; M. C., Carotta; G., Martinelli; Guarnieri, Vittorio; Sebastiano, Brida; Margesin, Benno; Giacomozzi, Flavio; Zen, Mario; D., Giusti; Soncini, Giovanni; Alexey, Vasiliev; S., Pisliakov | |
Development of a low-power thick-film gas sensor deposited by screen-printing technique onto a micromachined hotplate | 1-gen-2001 | D., Vincenzi; M. A., Butturi; V., Guidi; M. C., Carotta; G., Martinelli; Guarnieri, Vittorio; Sebastiano, Brida; Margesin, Benno; Giacomozzi, Flavio; Zen, Mario; U., Pignatel; Alexey, Vasiliev; S., Pisliakov |
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