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Feasibility study on fabrication of piezoresistive pressure sensors using silicon micromachining technology 1-gen-1998 Sebastiano, Brida; Ferrario, Lorenza; Giacomozzi, Flavio; Gregori, Paolo; Guarnieri, Vittorio; Margesin, Benno; F., Merz; G., Verzellesi; Zen, Mario
Characterization of Silicon Anisotropic TMAH Etch for Bulk Micromachining 1-gen-1998 Sebastiano, Brida; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Zen, Mario
Characterization of TMAH Silicon Etchant Using Ammomium Persulfate as an Oxidizing Agent 1-gen-1998 M., Paranjape; Sebastiano, Brida; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Zen, Mario
Low-Power Silicon Microheaters for Gas Sensors 1-gen-1999 Sebastiano, Brida; Giacomozzi, Flavio; D., Giusti; Guarnieri, Vittorio; Margesin, Benno; Zen, Mario
Microstructures etched in doped TMAH solutions 1-gen-1999 Sebastiano, Brida; Faes, Alessandro; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; M., Paranjape; Giorgio Umberto, Pignatel; Zen, Mario
Optimization of TMAH etching for MEMS 1-gen-1999 Sebastiano, Brida; Ferrario, Lorenza; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; G., Verzellesi; Zen, Mario
Characterization of TMAH Silicon Etchant Using Ammonium Persulfate as an Oxidizing Agent 1-gen-1999 Sebastiano, Brida; Guarnieri, Vittorio; M., Pranjape; Giacomozzi, Flavio; Zen, Mario
Development of silicon microheaters for chemoresistive gas sensors 1-gen-1999 Sebastiano, Brida; Ferrario, Lorenza; Giacomozzi, Flavio; D., Giusti; Guarnieri, Vittorio; Margesin, Benno; Giorgio Umberto, Pignatel; Soncini, Giovanni; Alexey, Vasiliev; G., Verzellesi; Zen, Mario
Silicon bulk micromachining for sensor technologies 1-gen-1999 Zen, Mario; G., Pignatel; S., Brida; Faes, Alessandro; Ferrario, Lorenza; Guarnieri, Vittorio; Margesin, Benno; G., Soncini
Micromachined dielectric membranes for microwave applications 1-gen-1999 Giacomozzi, Flavio; Guarnieri, Vittorio; Margesin, Benno; A., Muller; Zen, Mario; F., Riesz
Silicon based microbridges for gas sensing applications 1-gen-1999 D., Vincenzi; M. A., Butturri; G., Martinelli; Sebastiano, Brida; Giacomozzi, Flavio; Guarnieri, Vittorio; Margesin, Benno; Zen, Mario; D., Giusti; M. A., Carotta; Soncini, Giovanni
Structural changes of Ti/TiN/Cr/Au multilayers after high temperature annealing 1-gen-2000 D., Vincenzi; M. A., Butturi; M., Stefancich; V., Guidi; G., Martinelli; Guarnieri, Vittorio; Sebastiano, Brida; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Zen, Mario; D., Boscarino; Mea G., Della
Low power Silicon microheaters on a thin dielectric membrane with Thick Film Sensing Layer for gas sensor applications 1-gen-2000 Guarnieri, Vittorio; Sebastiano, Brida; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Zen, Mario; Alexey, Vasiliev; Alexandr Viktorovich, Pisliakov; Soncini, Giovanni; Giorgio Umberto, Pignatel; D., Vincenzi; G., Martinelli; M. C., Carotta; M. A., Butturi
Thick-film gas-sensing microarray with VLSI-compatible micromachined hotplates 1-gen-2000 D., Vincenzi; M. A., Butturi; V., Guidi; M. C., Carotta; G., Martinelli; Guarnieri, Vittorio; Sebastiano, Brida; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Zen, Mario; D., Giusti; Soncini, Giovanni
Microstructures etched in doped TMAH solutions 1-gen-2000 S., Brida; Faes, Alessandro; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; M., Paranjape; G., Pignatel; Zen, Mario
Micromachined Dielectric Membranes for Microwave Applications 1-gen-2000 Giacomozzi, Flavio; Guarnieri, Vittorio; Margesin, Benno; A., Muller; Zen, Mario; F., Riesz
Gas-Sensing Device implemented on a Micromachined Membrane: a Combination of Thick-Film and VLSI Technologies 1-gen-2000 D., Vincenzi; M. A., Butturi; V., Guidi; M. C., Carotta; G., Martinelli; Guarnieri, Vittorio; Sebastiano, Brida; Margesin, Benno; Giacomozzi, Flavio; Zen, Mario; D., Giusti; Soncini, Giovanni; Alexey, Vasiliev; S., Pisliakov
Membrane-type Gas Sensor with Thick Film Sensing Layer: Optimization of Heat Loses 1-gen-2000 Alexey, Vasiliev; Alexandr Viktorovich, Pisliakov; Zen, Mario; Margesin, Benno; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Sebastiano, Brida; Soncini, Giovanni; D., Vincenzi; G., Martinelli; M. C., Carotta; M. A., Butturi
Tecnologie micromeccaniche per sensoristica integrata in silicio 1-gen-2000 Sebastiano, Brida; Giacomozzi, Flavio; Guarnieri, Vittorio; Ferrario, Lorenza; Margesin, Benno; Zen, Mario; Faes, Alessandro; Giorgio Umberto, Pignatel; Soncini, Giovanni
Low-power thick-film gas sensor obtained by a combination of screen printing and micromachining techniques 1-gen-2001 D., Vincenzi; M. A., Butturi; M., Stefancich; C., Malagù; V., Guidi; M. C., Carotta; G., Martinelli; Guarnieri, Vittorio; Sebastiano, Brida; Margesin, Benno; Giacomozzi, Flavio; Zen, Mario; Alexey, Vasiliev; Alexandr Viktorovich, Pisliakov
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