Sfoglia per Autore  Faes, Alessandro

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Silicon bulk micromachining for sensor technologies 1-gen-1999 Zen, Mario; G., Pignatel; S., Brida; Faes, Alessandro; Ferrario, Lorenza; Guarnieri, Vittorio; Margesin, Benno; G., Soncini
Microstructures etched in doped TMAH solutions 1-gen-1999 Sebastiano, Brida; Faes, Alessandro; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; M., Paranjape; Giorgio Umberto, Pignatel; Zen, Mario
Realisation of Silicon Microcalorimeters with Bulk Micromachining Technology 1-gen-2000 Margesin, Benno; Faes, Alessandro; Giorgio Umberto, Pignatel
Microstructures etched in doped TMAH solutions 1-gen-2000 S., Brida; Faes, Alessandro; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; M., Paranjape; G., Pignatel; Zen, Mario
Tecnologie micromeccaniche per sensoristica integrata in silicio 1-gen-2000 Sebastiano, Brida; Giacomozzi, Flavio; Guarnieri, Vittorio; Ferrario, Lorenza; Margesin, Benno; Zen, Mario; Faes, Alessandro; Giorgio Umberto, Pignatel; Soncini, Giovanni
Vertically structured thin membranes by a lost mold technique 1-gen-2001 Sebastiano, Brida; Faes, Alessandro; Ferrario, Lorenza; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Lui, Alberto; Margesin, Benno; Zen, Mario
Electrochemical effects during anisotropic bulk-silicon etching with doped and undoped TMAHW solutions 1-gen-2001 Bellutti, Pierluigi; Sebastiano, Brida; Faes, Alessandro; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Zen, Mario
Measurements of the mechanical properties of composite membranes by load-deflection method with a profilometer 1-gen-2002 Faes, Alessandro; Giacomozzi, Flavio; Guarnieri, Vittorio; Margesin, Benno
Progettazione, disegno, fabbricazione e caratterizzazione di un microfono capacitivo in silicio con tecnologie MEMS 1-gen-2003 Margesin, Benno; Bagolini, Alvise; Faes, Alessandro; Giacomozzi, Flavio; Guarnieri, Vittorio
Fabrication of a piston-type condenser microphone with structured polysilicon diaphragm 1-gen-2003 Margesin, Benno; Faes, Alessandro; Giacomozzi, Flavio; Bagolini, Alvise; Zen, Mario
Stress characterization of electroplated gold layers for low temperature surface micromachining 1-gen-2003 Margesin, Benno; Bagolini, Alvise; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Faes, Alessandro; Ramjay, Pal; Decarli, Massimiliano
Stress Characterization of Silicon Oxide, Silicon Nitride, Chromium and Gold Films for Micromechanics 1-gen-2003 Bagolini, Alvise; Margesin, Benno; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Faes, Alessandro; R., Pal; Decarli, Massimiliano
Novel stress test structures for surface micromachining applications 1-gen-2003 Bagolini, Alvise; Margesin, Benno; Faes, Alessandro; G., Turco
Stress Characterization of Silicon Oxide, Silicon Nitride, Chromium and Gold Films for Micromechanics 1-gen-2004 Bagolini, Alvise; Margesin, Benno; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Faes, Alessandro; R., Pal; Decarli, Massimiliano
Novel Test structures for stress diagnosis in micromechanics 1-gen-2004 Bagolini, Alvise; Margesin, Benno; Faes, Alessandro; G., Turco; Giacomozzi, Flavio
Fabrication of silicon bolometers with bulk micromachining technology 1-gen-2004 Faes, Alessandro; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; A., Nucciotti
Modeling of a Condenser Microphone with Structured Polysilicon Diaphragm 1-gen-2004 Faes, Alessandro; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Zen, Mario
Analytical model for magnified displacement stress test structures. 1-gen-2005 Bagolini, Alvise; Faes, Alessandro; Margesin, Benno
A micromachined inertial accelerometer for avionics 1-gen-2005 Bagolini, Alvise; Margesin, Benno; Faes, Alessandro; S., Das
A MEMS-based liquid flow sensor for medical diagnostics 1-gen-2005 Decarli, Massimiliano; Guarnieri, Vittorio; Faes, Alessandro; Margesin, Benno; M., Paranjape; Lorenzelli, Leandro; Zen, Mario
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