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Silicon bulk micromachining for sensor technologies 1-gen-1999 M. Zen; G. Pignatel; S. Brida; A. Faes; L. Ferrario; V. Guarnieri; B. Margesin; G. Soncini
Microstructures etched in doped TMAH solutions 1-gen-1999 Sebastiano, Brida; Faes, Alessandro; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; M., Paranjape; Giorgio Umberto, Pignatel; Zen, Mario
Realisation of Silicon Microcalorimeters with Bulk Micromachining Technology 1-gen-2000 Benno Margesin; Alessandro Faes; Giorgio Umberto Pignatel
Microstructures etched in doped TMAH solutions 1-gen-2000 S., Brida; Faes, Alessandro; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; M., Paranjape; G., Pignatel; Zen, Mario
Tecnologie micromeccaniche per sensoristica integrata in silicio 1-gen-2000 Sebastiano, Brida; Giacomozzi, Flavio; Guarnieri, Vittorio; Ferrario, Lorenza; Margesin, Benno; Zen, Mario; Faes, Alessandro; Giorgio Umberto, Pignatel; Soncini, Giovanni
Electrochemical effects during anisotropic bulk-silicon etching with doped and undoped TMAHW solutions 1-gen-2001 Pierluigi Bellutti; Sebastiano Brida; Alessandro Faes; Vittorio Guarnieri; Flavio Giacomozzi; Benno Margesin; Mario Zen
Vertically structured thin membranes by a lost mold technique 1-gen-2001 Sebastiano, Brida; Faes, Alessandro; Ferrario, Lorenza; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Lui, Alberto; Margesin, Benno; Zen, Mario
Measurements of the mechanical properties of composite membranes by load-deflection method with a profilometer 1-gen-2002 Faes, Alessandro; Giacomozzi, Flavio; Guarnieri, Vittorio; Margesin, Benno
Fabrication of a piston-type condenser microphone with structured polysilicon diaphragm 1-gen-2003 Margesin, Benno; Faes, Alessandro; Giacomozzi, Flavio; Bagolini, Alvise; Zen, Mario
Progettazione, disegno, fabbricazione e caratterizzazione di un microfono capacitivo in silicio con tecnologie MEMS 1-gen-2003 Margesin, Benno; Bagolini, Alvise; Faes, Alessandro; Giacomozzi, Flavio; Guarnieri, Vittorio
Stress Characterization of Silicon Oxide, Silicon Nitride, Chromium and Gold Films for Micromechanics 1-gen-2003 Bagolini, Alvise; Margesin, Benno; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Faes, Alessandro; R., Pal; Decarli, Massimiliano
Novel stress test structures for surface micromachining applications 1-gen-2003 Bagolini, Alvise; Margesin, Benno; Faes, Alessandro; G., Turco
Stress characterization of electroplated gold layers for low temperature surface micromachining 1-gen-2003 Margesin, Benno; Bagolini, Alvise; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Faes, Alessandro; Ramjay, Pal; Decarli, Massimiliano
Stress Characterization of Silicon Oxide, Silicon Nitride, Chromium and Gold Films for Micromechanics 1-gen-2004 A. Bagolini; B. Margesin; V. Guarnieri; F. Giacomozzi; A. Faes; R. Pal; M. Decarli
Novel Test structures for stress diagnosis in micromechanics 1-gen-2004 Bagolini, Alvise; Margesin, Benno; Faes, Alessandro; G., Turco; Giacomozzi, Flavio
Fabrication of silicon bolometers with bulk micromachining technology 1-gen-2004 Faes, Alessandro; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; A., Nucciotti
Modeling of a Condenser Microphone with Structured Polysilicon Diaphragm 1-gen-2004 Faes, Alessandro; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Zen, Mario
Analytical model for magnified displacement stress test structures. 1-gen-2005 Bagolini, Alvise; Faes, Alessandro; Margesin, Benno
A micromachined inertial accelerometer for avionics 1-gen-2005 Bagolini, Alvise; Margesin, Benno; Faes, Alessandro; S., Das
A micromachined flow sensor for monitoring and evaluation of urinary disfunction 1-gen-2005 Decarli, Massimiliano; Guarnieri, Vittorio; Faes, Alessandro; Margesin, Benno; N., Viarani; Massari, Nicola; Gottardi, Massimo; Simoni, Andrea; M., Paranjape; Zen, Mario
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